DRK8090 פאָטאָעלעקטריק פּראָפילער

דעם קיילע אַדאַפּץ ניט-קאָנטאַקט, אָפּטיש פאַסע-שיפטינג ינטערפעראָמעטריק מעזשערמאַנט אופֿן, טוט נישט שעדיקן די ייבערפלאַך פון די וואָרקפּיעסע בעשאַס מעזשערמאַנט, קענען געשווינד מעסטן די דריי-דימענשאַנאַל גראַפיקס פון די ייבערפלאַך מיקראָ-טאַפּאַגראַפי פון פאַרשידן וואָרקפּיעסעס, און פונאַנדערקלייַבן און רעכענען די מעזשערמאַנט. רעזולטאַטן.

פּראָדוקט באַשרייַבונג
פֿעיִקייטן: פּאַסיק פֿאַר מעסטן די ייבערפלאַך ראַפנאַס פון פאַרשידן מאָס בלאַקס און אָפּטיש טיילן; די טיפקייַט פון די רעטיקלע פון ​​די ווירע און די רעדל; די גרעב פון די קאָוטינג פון די גראַטינג נאָרע סטרוקטור און די סטרוקטור מאָרפאָלאָגי פון די קאָוטינג גרענעץ; די ייבערפלאַך פון די מאַגנעטיק (אָפּטיש) דיסק און די מאַגנעטיק קאָפּ מעזשערמאַנט; סיליציום ווייפער ייבערפלאַך ראַפנאַס און מוסטער סטרוקטור מעזשערמאַנט, עטק.
רעכט צו דער הויך מעזשערמאַנט אַקיעראַסי פון די קיילע, עס האט די קעראַקטעריסטיקס פון ניט-קאָנטאַקט און דריי-דימענשאַנאַל מעזשערמאַנט, און אַדאַפּץ קאָמפּיוטער קאָנטראָל און גיך אַנאַליסיס און כעזשבן פון מעזשערמאַנט רעזולטאַטן. דער קיילע איז פּאַסיק פֿאַר אַלע לעוועלס פון טעסטינג און מעזשערמאַנט פאָרשונג וניץ, ינדאַסטריאַל און מיינינג פאַרנעמונג מעאַסורעמענט רומז, פּינטלעכקייַט פּראַסעסינג וואַרשטאַטן, און אויך פּאַסיק פֿאַר אינסטיטוציעס פון העכער לערנען און וויסנשאפטלעכע פאָרשונג אינסטיטוציעס, עטק.
די הויפּט טעכניש פּאַראַמעטערס
מעאַסורינג קייט פון ייבערפלאַך מיקראָסקאָפּיק ונעוועננעסס טיפקייַט
אויף אַ קעסיידערדיק ייבערפלאַך, ווען עס איז קיין הייך פּלוצעמדיק ענדערונג גרעסער ווי 1/4 ווייוולענגט צווישן צוויי שכייניש בילדצעלן: 1000-1נם
ווען עס איז אַ הייך מיוטיישאַן מער ווי 1/4 פון די ווייוולענגט צווישן צוויי שכייניש בילדצעלן: 130-1נם
רעפּעאַטאַביליטי פון מעזשערמאַנט: δRa ≤0.5נם
אָביעקטיוו אָביעקטיוו מאַגנאַפאַקיישאַן: 40X
נומעריקאַל עפענונג: Φ 65
ארבעטן ווייַטקייט: 0.5 מם
ינסטרומענט פעלד פון מיינונג וויסואַל: Φ0.25מם
פאָטאָגראַפיע: 0.13×0.13מם
ינסטרומענט מאַגנאַפאַקיישאַן וויסואַל: 500×
פאָטאָגראַפיע (אָבסערווירט דורך קאָמפּיוטער פאַרשטעלן) -2500 ×
ופנעמער מעזשערמאַנט מענגע: 1000X1000
פּיקסעל גרייס: 5.2 × 5.2 µm
מעאַסורעמענט צייט מוסטערונג (סקאַנינג) צייט: 1 ס
ינסטרומענט נאָרמאַל שפּיגל רעפלעקטיוויטי (הויך): ~50%
רעפלעקטאַנס (נידעריק): ~4%
לייטינג מקור: ינקאַנדעסאַנט לאָמפּ 6 וו 5 וו
גרין ינטערפיראַנס פילטער ווייוולענגט: λ≒530נם
האַלב ברייט λ≒10נם
הויפּט מיקראָסקאָפּ הייבן: 110 מם
טיש הייבן: 5 מם
באַוועגונג קייט אין X און Y ריכטונג: ~10 מם
ראָוטיישאַנאַל קייט פון אַרבעט טיש: 360 °
טילט קייט פון ארבעטן טיש: ± 6 °
קאָמפּיוטער סיסטעם: P4, 2.8G אָדער מער, 17-אינטש פלאַך פאַרשטעלן מיט 1G אָדער מער זכּרון